Реестровая запись: ЭЛ № ФС77-79395 от 02.11.2020 ISSN: 2782-1528 DOI 10.34660/c0727-6092-6372-a
Литография оптическая или фотолитография – обычно использует излучение с длиной волны λ = 0,36-0,45 мкм. Если поделить пополам это значение, получим теоретически возможное разрешение рисунка
Основная характеристика процесса литографии — разрешающая способность, то есть способность раздельно воспроизводить мелкие элементы рисунка. Обычно разрешающая способность оценивается по минимальной ширине воспроизводимой линии и
Микротехнологии — это комплекс групповых прецизионных планарных технологий, разработанных для производства изделий микроэлектроники. Сущность таких технологий проста по смыслу и одновременно сложна по содержанию. Она
Cхемы интегральные, гибридные — представляют собой комбинацию пленочных пассивных элементов и активных компонентов, расположенных на общей диэлектрической подложке. Дискретные активные компоненты, входящие в состав таких
Схема интегральная, пленочная — это микросхема, чьи элементы выполнены в виде пленок, нанесенных на поверхность диэлектрической подложки (стекло, керамика и др.). В зависимости от толщины
Схема интегральная, полупроводниковая — это микросхема, элементы которой выполнены в приповерхностном слое полупроводниковой подложки. Технология их изготовления основана на легировании полупроводниковой (кремниевой) пластины поочередно донорными
Проектирование эскизное — ЭП служит основанием для технического проектирования, и в его ходе производятся определение и разработка принципиальных технических решений: выполнение работ по этапу технического
Способ гусеничный — чаще всего применяется в боевых роботах, так как использование гусениц значительно повышает проходимость на пересечённой местности. [Ступина Е.Е., Ступин А.А., Чупин Д.Ю.,
Способ колёсный — наиболее распространённый способ передвижения, который в зависимости от числа используемых колёс можно разделить на подклассы. Преимуществом использования малого (от 1 до 2)
Обеспечение математическое — совокупность математических методов, моделей и алгоритмов проектирования, представленных в заданной форме. МО при автоматизированном проектировании в явном виде не используется, а применяется