Электроника/Electronics

Светочувствительность – это величина, обратная количеству  поглощенной  световой  энергии,  необходимой  для получения в данном слое фоторезиста определенного фотохимического эффекта, который состоит в потере (в негативном

Фотолитография (ФЛ) — это технологический процесс (ТП), основанный на использовании фотохимических явлений, которые происходят в нанесенном на подложку слое фоторезиста  при его обработке ультрафиолетовым (УФ)

Негативные ФР — это резисты, локальные участки которых под действием излучения в результате фотоструктурирования (сшивания) становятся стойкими к воздействию проявителя и в отличие от необлученных

Фоторезисты (актинорезисты) (ФР) — это сложные полимерные композиции,   в   составе       которых     имеются     пленкообразующие      и фоточувствительные  к        ультрафиолетовому     излучению

Литография в микроэлектронике – это совокупность фотохимических процессов, создающая на поверхности материала защитный слой требуемой конфигурации и стойкости к агрессивным  воздействиям  и  последующей  операции селективного

Литография электронная – обладает наиболее высокой разрешающей способностью. Дебройлевская длина волны электрона (электрон — это еще и волна) менее 0, 1 нм. И эффекты дифракции,

Литография оптическая или фотолитография – обычно использует излучение с длиной волны  λ = 0,36-0,45 мкм. Если поделить пополам это значение, получим теоретически возможное разрешение рисунка

Основная характеристика процесса литографии — разрешающая способность, то есть способность раздельно воспроизводить мелкие элементы рисунка. Обычно разрешающая способность оценивается по минимальной ширине воспроизводимой линии и

Микротехнологии — это комплекс групповых прецизионных планарных технологий, разработанных для производства изделий микроэлектроники. Сущность таких технологий проста по смыслу и одновременно сложна по содержанию. Она