Светочувствительность – это величина, обратная количеству поглощенной световой энергии, необходимой для получения в данном слое фоторезиста определенного фотохимического эффекта, который состоит в потере (в негативном фоторезисте) или приобретении (в позитивном фоторезисте) растворимости облученных участков фоторезиста.
[Лапшинов Б.А. Технология литографических процессов. Учебное пособие – Московский государственный институт электроники и математики. М., 2011.–95 с.]