Кремний на изоляторе (silicon on insulator, SOI)1) — технология изготовления, использующая изолирующий материал в качестве материала основы вместо кремния, который может быть сапфиром (SOS).
П р и м е ч а н и е. Кремний на изоляторе является общим термином.
[ГОСТР МЭК 60194-2—2019. Платы печатные. Проектирование, изготовление и монтаж. Термины и определения]