Микросхема полупроводниковая — это микросхема, в которой все элементы и межэлементные соединения выполнены в объеме и на поверхности полупроводника.
[Лаврентьев Б. Ф. Аналоговая и цифровая электроника: Учебное пособие. — Йошкар-Ола: МарГТУ, 2000. — 155 с.]