Литография (от греческого lithos — «камень» и grapho— «пишу», «рисую») — способ формирования рельефа (рисунка) в слое металла, диэлектрика или полупроводника. Процесс литографии осуществляется с использованием специальных материалов — резистов, чувствительных к внешнему облучению и способных при этом переходить в нерастворимое устойчивое к действию травителей состояние (негативные резисты) или, наоборот, разрушаться (позитивные резисты).
[Лапшинов Б.А. Технология литографических процессов. Учебное пособие – Московский государственный институт электроники и математики. М., 2011.–95 с.]